◆ 主要性能参数： 1.扫描范围(X、Y)：≥100mm×100mm；扫描分辨率（X、Y、Z）:≤1nm； 线性位移编码分辨率：50nm；最大扫速≥10mm/s； 2．SECM-扫描电化学测试模块 支持2，3，4电极测试，浮地测试；最大输出电压:≥±11V；最大输出电流：≥1.9A；电流分辨率:≤125fA；电极材料:碳材料，探针涂层:PET-聚对二甲苯薄膜材料，操作模式:等距离和等高模式，探针与样品接触压力:约2.55x104Nm-2 3.LEIS-微区阻抗测试模块 频率范围：≥10μHz—1MHz；交流振幅范围：0.1mV-1V；显示模式：阻抗的线扫、面扫、点频率扫描、BodeandNyquist；探针材料:Pt/Ir针；Pt环 ◆ 主要用途： 进行超高测量分辨率及空间分辨率的非接触式微区形貌及电化学微区测试系统，可以实现如下现今所有微区扫描探针电化学技术以及激光非接触式微区形貌测试： Scanning Electrochemical Microscopy (SECM) 扫描电化学显微镜、Scanning Vibrating Electrode Technique (SVET) 扫描振动电极测试、Scanning Kelvin Probe (SKP) 扫描开尔文探针测试、Localized Electrochemical Impedance Spectroscopy (LEIS) 微区电化学阻抗测试、Scanning Droplet Cell (SDC) 扫描电解液微滴测试、Non-Contact Surface Profiling (OSP) 非触式光学微区形貌测试 ◆ 设备特点： 1.两台独立的电化学工作站组成的双电化学测试系统还可以单独使用进行常规电化学实验包括电化学噪声，电化学交流阻抗测试。 2.最小时基：2us。