◆ 主要性能参数： 1、工作时气压：Ar, 约1×10－2mbar，工作前真空度需达到5×10－5mbar。 2、镀膜靶源应采用倾角式设计，配置旋转样品台，可使镀膜最均匀； 3、样品室内径：不小于宽200×深150×高195 mm； 4、工作距离：30－100mm； 5、全无油真空系统：要求隔膜泵×1+分子泵×1； 6、最优真空度：≤2x10-6mbar ◆ 主要功能：非导体若要进行扫描电镜观测，须先进行表面物理气相沉积喷金处理。