型号：Verios G4 UC ◆ 主要用途：非磁性样品表面形貌分析 ◆ 主要性能参数： 1、分辨率：二次电子（SE）像；在最佳工作距离下：15kV时优于0.6nm；1kV时优于0.7nm； 2、最大视野范围：1.5mm(分析工作距离WD=4mm)； 3、放大倍率范围：20～2,000,000倍； 4、电子束流：包含0.8pA～100nA; 5、样品室和样品台：移动范围：X150mm Y150mm Z10mm， 连续旋转：R=720；倾斜角T：－10º～60º 6.能谱仪：能量分辨率：MnKa保证优于127eV, 元素分析范围:Be4～Cf98。 谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，