东莞理工学院分析测试中心（以下简称“中心”）成立于2022年10月，是学校重点打造的校级科研公共服务平台。中心现有国际先进科研仪器设备47台/套，总价值逾1.2亿元，涵盖球差电镜、FIB扫描电镜、核磁等高精尖设备。

聚焦离子束一扫描电子显微镜双束系统(FIB-SEM)日前已顺利完成安装工作，该设备配置Ga液态金属离子源、电子束成像系统、样品室与样品台、探测器系统、EDS能谱系统、GIS气体注入系统、纳米机械手、真空系统、主动减震系统及三维重构软件等。设备主要用于固体样品的微纳尺度定点切割、截面制备、SEM成像、元素分析、TEM薄片制备及连续切片三维结构分析。

在功能方面，FIB可进行定点切割与截面制备，对指定微区进行切割、开槽、截面暴露和局部修整；TEM 薄片制备功能可实现目标区域保护和薄片制备；EDS元素功能分析可实现元素点分析、线扫描、面分布及定量分析。通过FIB连续切片与SEM成像功能，还可以进行三维重构，金属、复合材料、薄膜、颗粒及多相材料的截面结构与微区缺陷分析。

聚焦离子束一扫描电子显微镜双束系统(FIB-SEM)

该设备广泛应用于芯片、封装结构、焊点、互连线及局部失效区域的剖面观察；电极材料、催化剂等固体样品的颗粒、孔隙、界面和裂纹分析；针对指定晶粒、界面、缺陷或薄膜截面制备透射电镜薄片。

科研人员操作

如对焊点、互连或局部缺陷区域进行定位切割和截面观察；从指定晶粒、相界面、夹杂物或缺陷区域制备透射电镜薄片；通过连续切片成像分析孔隙、第二相或纤维状结构的空间分布等。目前，该设备正在进行最后的调试，预计12月面向公众开放预约使用。

球差校正透射电子显微镜已经正式运行并开放预约使用。球差校正透射电子显微镜是学校分析测试中心专项建设的高端微观结构表征平台。

球差校正透射电子显微镜

它依托高阶球差校正、多模式原子成像、轻元素解析、电磁场表征一体化能力，专攻材料原子尺度结构、成分、缺陷、构效关系研究，是区域内兼具表面形貌+内部原子结构+电磁场分析的综合性高端透射表征设备。

该仪器是一种基于实验室级X射线源的先进结构表征技术，通过精确测量材料对X射线的吸收系数随能量的变化，解析材料的局域原子结构和电子态信息。

X射线精细吸收结构谱仪

其中X射线近边吸收谱(XANES)可获取吸收原子的电子结构、化学价态及配位对称性；扩展边吸收谱(EXAFS)可精确测定原子间距、配位数及无序度等结构参数。目前该机器也已经正式投入运行并面向公众开放预约使用。

其他设备

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用户可在分析测试中心网站完成注册并通过身份认证后，按照流程预约使用中心仪器。

分析测试中心网站：

https://csgx.dgut.edu.cn

具体预约操作流程可登录

https://csgx.dgut.edu.cn/cszx/Default/FuznListD详细了解。

需要注意的是，中心仪器使用安排分为两类，一类是仪器使用在用户选定的时间段内进行，另一类是仪器使用由仪器管理员安排时间。前者，预约用户选择的时间段即为仪器使用的时间段；后者，预约用户选择的时间段仅为用于记录仪器使用预约的先后顺序。

完成申请后，请等待中心仪器管理员审核，审核结果将通过短信通知用户。预约用户可在登录后的界面查询仪器预约使用情况，下载实验结果，查询测试费用。

如需了解更多内容，欢迎关注中心微信公众号，或致电业务电话0769-22863908，也可发送邮件至fxcszx@dgut.edu.cn。中心将及时为用户解答疑问，协助用户获取所需信息。